气体质量流量控制器
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点击次数：2159 更新时间：2019-12-30
FC-R77xx CD系列流量控制器采用橡胶材质密封具备优异的低泄漏特性，可适用于绝大多数气体控制应用。提供行业通用和AE独特电气信号可选方案，可方便对用户使用的质量流量控制器（MFC）进行替换，操作简单。
特点
◆高精度
◆高信赖和可靠性
◆耐腐蚀设计
◆采用橡胶密封材质
◆VCR、Swagelok互换的气路接口
◆10SCCM－5SLM满量程范围
◆方便的互换性
◆高速应答优秀的统一性，目前世界上有大约7万只在运行中的产品，内的返修率不到0.5%,广受客户赞誉
◆方便的互换性
性能指标 | FC-R7700CD/FC-R7700D系列 | FC-R7710CD/FC-R7710D系列 | FC-R7720CD/FC-R7720D系列 |
满量程范围 | 10Sccm-5Slm | N/O:6-20slm* | 35-200Slm |
响应时间 | 满流量的±2%范围内,小于2秒 | 满流量的±2%范围内,小于3秒 | |
精度 | ≤±1%满量程 | ≤±2%满量程 | |
线性镀 | ≤满量程±0 5% | ≤满量程±0 5% #1 | ≤满量程±1% |
重复性 | ≤满量程±0.2% | ||
泄漏率 | 1X10E-11 Pa.m ³/sec | ||
控制范围 | 满流量的2%-100% | ||
压差 | 49Kpa-275Kpa | 69Kpa-275Kpa | 147Kpa-275Kpa |
正常工作压 | 490Kpa | ||
最高进气压力 | 980Kpa | ||
温度范围 | 5-45℃(41-113℉) | ||
输入电源 | +15VDC±2% 25mA | +15VDC±2% 25mA | |
功率 | 3.1W max | 3.5W max | |
输入信号 | 0-5 VDC | ||
输出型号 | 0-5 VDC | ||
控制阀形式 | 常开或常闭电磁阀 | ||
密封件 | 橡胶密封 | ||
材质 | 316L,316,PTFE,不锈钢(氟橡胶,氯丁橡胶) | ||
标准接口 | 1/4"VCR和Swagelok兼容 | 3/8"VCR,1/4"VCR | |
重量 | 1.0KG | 2.7KG | |
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